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ソーラーセル製造ライン 太陽電池用ウェーハ移載機
ソーラーセル用シリコンウェーハ（□１５６mm）に対応したウェーハをカセットとボードの間を移載する装置である。
機能：動作モード
スタック-１００枚移載：製品、太陽電池用ウェーハをスタックから１００枚カセットへ移載するモード。
１００枚-５０枚移載：製品、太陽電池用ウェーハを１００枚から５０枚カセットへ移載するモード。
５０枚カセット-石英ボート移載：２枚重ね、反転装置付
５０枚カセットからボートへ、ボートから５０カセットへの往復移載
ソーラーセル用シリコンウェーハ（□１５６mm）に対応したウェーハをカセットとボードの間を移載する装置である。
| ウェーハ仕様 | ウェーハサイズ | □１５６mm |
| ウェーハ厚み | 180±20μm | |
| 材質 | 単結晶シリコン |
| ５０枚カセット仕様 | |
| ウェーハ収納枚数 | ５０枚 |
| ピッチ | ４ｍｍ〜５ｍｍ |
| 材質 | PPS |
| 外形 | ２７８×１８５×１８０ |
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| ※各サイズ等の仕様変更可能 | |
| １００枚カセット仕様 | |
| ウェーハ収納枚数 | １００枚 |
| ピッチ | ４ｍｍ〜５ｍｍ |
| 材質 | PVDF |
| 外形 | ５５４×２０６×２０６ |
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| ※各サイズ等の仕様変更可能 | |
| 石英ボート仕様 | |
| ウェーハ収納枚数 | １００〜２５０枚 |
| ピッチ | ３ｍｍ〜４ｍｍ |
| ウェーハ挿入溝角度 | 80度 （水平から） |
| 材質 | 石英 |
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| ※各サイズ等の仕様変更可能 | |
機能：動作モード
スタック-１００枚移載：製品、太陽電池用ウェーハをスタックから１００枚カセットへ移載するモード。
| 基本仕様 装置サイズ 寸法： ８９９×２２９３．５ H１５０３ |
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１００枚-５０枚移載：製品、太陽電池用ウェーハを１００枚から５０枚カセットへ移載するモード。
| 基本仕様 装置サイズ 寸法： ２０８０×１９００ H１５３５ |
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５０枚カセット-石英ボート移載：２枚重ね、反転装置付
５０枚カセットからボートへ、ボートから５０カセットへの往復移載
| 基本仕様 装置サイズ 寸法： ２０８０×１９００ H１６７５ |
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